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题名:
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Journal of vacuum science & technology / , |
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语种:
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eng |
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出版发行:
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出版地： New York, N.Y. 出版社： American Institute of Physics 出版日期： 1983- |
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中图分类法:
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O552 版次： |
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ISSN:
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0734-2101 价格： |
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主要团体责任者:
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American Vacuum Society |
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主要团体责任者:
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American Institute of Physics |