|
题名:
|
微观形貌测量技术 / 惠梅著 , |
|
ISBN:
|
978-7-5682-6547-8 价格： CNY86.00 |
|
语种:
|
chi |
|
载体形态:
|
296页 图 24cm |
|
出版发行:
|
出版地： 北京 出版社： 北京理工大学出版社 出版日期： 2018 |
|
内容提要:
|
本书涵盖了表面微观形貌测量的主要设计理论, 对微观形貌的光学测量方法 —— 相移干涉显微测量技术, 展开了全面的理论与实验研究论述。主要内容包括: 绪论 ; 相移干涉原理 ; 相移提取算法 ; 相位解包裹算法 ; 干涉显微测量 ; 微分相称干涉显微测量等。 |
|
主题词:
|
表面形貌学 光学测量 |
|
中图分类法:
|
O485 版次： 5 |
|
主要责任者:
|
惠梅 著 |
|
索书号:
|
3 |