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题名:
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集成电路与光刻机 / 王向朝, 戴凤钊等著 , |
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ISBN:
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978-7-03-065792-3 价格： CNY58.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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133页 彩图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2020 |
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内容提要:
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本书介绍了集成电路与光刻机的发展历程。重点介绍了光刻机整机、分系统与曝光光源的主要功能、基本结构、工作原理、关键技术等。简要介绍了计算光刻技术。最后介绍了光刻机成像质量的提升与光刻机整机、分系统的技术进步。 |
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主题词:
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集成电路 |
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主题词:
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光刻设备 |
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中图分类法:
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TN4 版次： 5 |
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中图分类法:
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TN305.7 版次： 5 |
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主要责任者:
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王向朝 著 |
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主要责任者:
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戴凤钊 著 |
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索书号:
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3 |