题名:
微纳机电系统与微纳传感器技术   / 国家自然科学基金委员会, 中国科学院 ,
ISBN:
978-7-03-065240-9 价格: CNY98.00
语种:
chi
载体形态:
xxxvi, 237页, [8] 页图版 图 24cm
出版发行:
出版地: 北京 出版社: 科学出版社 出版日期: 2020.08
内容提要:
本书对微纳机电系统与微纳传感器领域的主要技术进行了分类阐述, 全面总结了技术的发展现状, 客观分析了技术的发展态势, 从学科的发展规律和研究特点出发, 前瞻性地思考了技术的发展思路与发展方向, 提出了我国发展该学科的资助机制与政策建议。 
主题词:
微机电系统   研究
主题词:
微电机   传感器
中图分类法:
TH-39 版次: 5
中图分类法:
TP212 版次: 5
附注:
中国学科发展战略 
主要团体责任者:
国家自然科学基金委员会
主要团体责任者:
中国科学院
索书号:
3