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题名:
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多晶硅生产技术 / 刘秀琼主编 , |
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ISBN:
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978-7-122-35801-1 价格： CNY45.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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248页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 化学工业出版社 出版日期： 2019 |
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内容提要:
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本教材主要讲述改良西门子法生产多晶硅的制备原理及生产过程,主要包括三氯氢硅的合成、精馏提纯,三氯氢硅氢还原制备高纯硅、尾气干法回收、硅芯的制备等核心内容,同时对气体的制备与净化、四氯化硅的综合利用与处理、纯水的制备、硅烷法制备高纯硅做了详细介绍。教材紧密结合生产实践,注重理论与实践的有机结合。 |
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主题词:
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半导体材料 硅 |
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中图分类法:
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TN304.1 版次： 5 |
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其它题名:
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项目化教程 |
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主要责任者:
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刘秀琼 主编 |
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版次:
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2版 |
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附注:
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新能源类专业教学资源库建设配套教材 |
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索书号:
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3 |