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题名:
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微系统设计导论 / (德) 沃纳·卡尔·施默博格著 , 董瑛等译 |
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ISBN:
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978-7-302-51757-3 价格： CNY68.50 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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230页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 清华大学出版社 出版日期： 2019 |
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内容提要:
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本书系统介绍组成微系统的基本微结构、功能单元和典型器件的设计, 包括薄层、弹性元件 (如膜片、微梁) 、应变和位移的检测单元、电阻和电容的测量电路、静电驱动力、压电效应、毛细管力、微流体控制单元、微传感器、微执行器等, 并附大量的设计计算练习题。 |
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主题词:
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微电子技术 设计 |
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中图分类法:
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TN40 版次： 5 |
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主要责任者:
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施默博格 著 |
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次要责任者:
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董瑛 译 |
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版次:
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2版 |
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索书号:
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3 |