题名:
微系统设计导论   / (德) 沃纳·卡尔·施默博格著 , 董瑛等译
ISBN:
978-7-302-51757-3 价格: CNY68.50
语种:
chi
载体形态:
230页 图 26cm
出版发行:
出版地: 北京 出版社: 清华大学出版社 出版日期: 2019
内容提要:
本书系统介绍组成微系统的基本微结构、功能单元和典型器件的设计, 包括薄层、弹性元件 (如膜片、微梁) 、应变和位移的检测单元、电阻和电容的测量电路、静电驱动力、压电效应、毛细管力、微流体控制单元、微传感器、微执行器等, 并附大量的设计计算练习题。 
主题词:
微电子技术   设计
中图分类法:
TN40 版次: 5
主要责任者:
施默博格
次要责任者:
董瑛
版次:
2版
索书号:
3