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题名:
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微机电系统 (MEMS) / (美) 维卡斯·乔社里, (加) 克日什托夫·印纽斯基著 , 周海宪, 程云芳, 周华伟等译 |
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ISBN:
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978-7-111-64958-8 价格： CNY139.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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383页 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2020 |
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内容提要:
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"本书汇集了微机电技术领域内的多位专家，力图解读过去十多年MEMS行业的爆炸式增长，以及在各种科学技术领域的广泛应用。本书由两部分十九章组成，既阐述了MEMS的理论基础和技术基础，同时也介绍了MEMS器件及系统的发展，并详细分析了相关系统的集成和在各学科领域的应用实例。 |
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主题词:
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微机电系统 研究 |
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中图分类法:
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TH-39 版次： 5 |
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其它题名:
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元器件、电路及系统集成技术和应用 |
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主要责任者:
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乔社里 著 |
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主要责任者:
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印纽斯基 著 |
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次要责任者:
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周海宪 译 |
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次要责任者:
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程云芳 译 |
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次要责任者:
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周华伟 译 |
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索书号:
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3 |