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题名:
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压电微机电谐振器 / (美) 哈梅特·布格拉, 詹卢卡·皮亚扎主编 , 吴涛, 李昕欣等译 |
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ISBN:
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978-7-111-63763-9 价格： CNY119.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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351页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2020 |
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内容提要:
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本书主要介绍压电MEMS谐振器的各种制作材料、工艺、参数、特性、测试和评估方法等，并针对相关器件商业化难题进行了讨论，给出了两个成功案例。本书共16章，包含4部分内容：第Ⅰ部分介绍了科研环境下广泛使用的MEMS谐振器压电材料；第Ⅱ部分介绍了相关谐振器的种类和特色；第Ⅲ部分介绍了压电MEMS谐振器的较为先进的设计理念以及建模、测试和评估方法；第Ⅳ部分介绍了压电MEMS谐振器的商业化问题，给出了相关案例。 |
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主题词:
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微电机 谐振器 |
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中图分类法:
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TN629.1 版次： 5 |
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主要责任者:
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布格拉 主编 |
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主要责任者:
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皮亚扎 主编 |
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次要责任者:
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吴涛 译 |
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次要责任者:
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李昕欣 译 |
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索书号:
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3 |