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题名:
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MEMS技术前沿与应用发展 / 尤政, 赵嘉昊编著 , |
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ISBN:
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978-7-118-11947-3 价格： CNY188.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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XIV, 348页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 国防工业出版社 出版日期： 2019 |
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内容提要:
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本书共分为12章。前3章从MEMS的基础概念、基本方法破题，围绕MEMS的制造、集成、测试技术加以展开，从硅/非硅微加工到封装、集成与测试技术，并从军事航天的应用领城对MEMS制造与集成技术进行了分析及讨论；第4-10章详细介绍了惯性MEMS技术、射频MEMS技术、微能源MEMS技术、生物MEMS技术、可穿戴/植入MENS技术、空间MEVMS技术以及极端环境应用的MEMS技术；第11-12章分别讨论了MEMS技术的新原理新效应，以及MEMS技术的产业化发展现状。 |
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主题词:
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微电机 |
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中图分类法:
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TM38 版次： 5 |
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主要责任者:
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尤政 编著 |
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主要责任者:
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赵嘉昊 编著 |
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附注:
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“十二五”国家重点图书出版规划项目 |
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索书号:
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3 |