|
题名:
|
半导体材料物理与技术 / 杨建荣著 , |
|
ISBN:
|
978-7-03-062732-2 价格： CNY78.00 |
|
语种:
|
chi |
|
载体形态:
|
294页 图 24cm |
|
出版发行:
|
出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2020 |
|
内容提要:
|
本书将这一分支学科的专业知识划分为半导体材料概述、物理性能、晶体生长热处理、性能测量和工艺基础技术6个组成部分, 通过把分散在众多教科书、专著和文献资料中的专业知识系统地纳入这一学科体系框架, 使之成为一本全面介绍半导体材料物理知识、工艺基本原理和实用化技术的专业书籍。 |
|
主题词:
|
半导体材料 物理性质 |
|
中图分类法:
|
TN304 版次： 5 |
|
主要责任者:
|
杨建荣 著 |
|
附注:
|
中国科学院大学教材出版中心资助 |
|
索书号:
|
3 |