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题名:
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中国电子信息工程科技发展研究 / 中国信息与电子工程科技发展战略研究中心 , |
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ISBN:
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978-7-03-062359-1 价格： CNY48.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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72页 图 21cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2019 |
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内容提要:
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本书试图以产业发展主流工艺为导向，侧重原理和产业应用实际相结合技术介绍，尽量了避免冗长深奥的物理和化学公式和原理推导。定性地对芯片生产制造工艺中的关键单项工艺进行描述，并在单项工艺角色介绍后，解释了具有复杂系统工程特点的工艺集成技术难点。重点介绍了芯片制造工艺中存在的五个主要挑战和可能的解决途径。最后讨论了芯片制造工艺产业链生态链的依赖关系。给读者一个大生产中芯片制造的概况了解，读者可以针对自己的兴趣进一步阅读学习相关文献，了解工艺环节中的细节，从而能得以深造。 |
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主题词:
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电子信息 信息工程 中国 |
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主题词:
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集成芯片 制造 中国 |
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中图分类法:
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G203 版次： 5 |
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中图分类法:
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TN43 版次： 5 |
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其它题名:
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集成电路芯片制造工艺专题 |
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主要团体责任者:
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中国信息与电子工程科技发展战略研究中心 编著 |
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索书号:
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3 |