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题名:
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光学薄膜厚度的光干涉测试方法 / 苏俊宏著 , |
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ISBN:
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978-7-03-062302-7 价格： CNY98.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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166页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2019 |
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内容提要:
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本书以光干涉测试技术为原理，以光学薄膜厚度参数为测量对象，介绍几种实现光学薄膜厚度测量的光干涉测试方法，包括干涉条纹法、快速傅里叶变换法、相位偏移干涉法、数字叠栅法，以及错位干涉法、外差干涉法和条纹扫描法。《光学薄膜厚度的光干涉测试方法》是作者研究工作的系统总结，具有理论与实践密切结合、论述系统深入、测试结果来源于工作实际的特点。 |
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主题词:
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光学干涉仪 测试方法 |
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中图分类法:
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TH744.3 版次： 5 |
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主要责任者:
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苏俊宏 著 |
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索书号:
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3 |