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题名:
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晶圆制造中的并行机调度 / 张洁, 张朋著 , |
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ISBN:
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978-7-302-53663-5 价格： CNY79.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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x, 241页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 清华大学出版社 出版日期： 2019 |
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内容提要:
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本书在介绍晶圆制造中的并行机调度问题和建模方法的基础上, 分别介绍了光刻机调度方法、炉管区调度方法以及物料运输系统调度方法。同时介绍了晶圆制造中的并行机调度性能评价方法, 以及原型系统的开发和应用。 |
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主题词:
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半导体工艺 自动化系统 |
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中图分类法:
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TN305 版次： 5 |
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主要责任者:
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张洁 著 |
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主要责任者:
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张朋 著 |
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附注:
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“十三五”国家重点图书出版规划项目 |
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责任者附注:
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张洁, 女, 东华大学机械工程学院院长、教授、博士生导师。中国科协智能制造学会联合体专家委员会委员、中国人工智能学会智能制造专业委员会副主任等。张朋, 男, 东华大学机械工程学院智能制造研究所讲师。2011年于华中科技大学获学土学位, 2019年于上海交通大学获得博士学位。 |
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索书号:
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3 |