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题名:
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直拉单晶硅工艺技术
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黄有志, 王丽主编
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ISBN:
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978-7-122-29885-0
价格：
CNY28.00
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语种:
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chi
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载体形态:
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130页
图
26cm
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出版发行:
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出版地：
北京
出版社：
化学工业出版社
出版日期：
2017
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内容提要:
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本书主要内容包括：单晶炉的基本知识、直拉单晶炉、直拉单晶炉的热系统及热场、晶体生长控制器、直拉单晶炉生长技术、铸锭多晶硅工艺、掺杂技术等。
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主题词:
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半导体材料
直拉硅单晶
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中图分类法:
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TN304.105
版次：
5
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主要责任者:
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黄有志
主编
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主要责任者:
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王丽
主编
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版次:
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2版
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索书号:
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3
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索书号:
|
3
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