题名:
磁控溅射制备氮化铜薄膜的结构与性能   / 肖剑荣著 ,
ISBN:
978-7-5170-7439-7 价格: CNY57.00
语种:
chi
载体形态:
173页 图 24cm
出版发行:
出版地: 北京 出版社: 中国水利水电出版社 出版日期: 2019
内容提要:
磁控溅射是一种通用、成熟的薄膜制备工艺技术, 其制备工艺可调剂参数较多, 通过精细控制能够实现对薄膜结构的有效调控。本书研究了薄膜的工艺参数、薄膜结构与性能等之间的内在关系, 探讨了薄膜的电子输运、光学带隙、热稳定性的有关物理量的变化机制。 
主题词:
  金属薄膜
主题词:
  金属薄膜
中图分类法:
TF811 版次: 5
主要责任者:
肖剑荣
索书号:
3
索书号:
3