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题名:
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等离子体放电与材料工艺原理 / (美) Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著 , 蒲以康等译 |
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ISBN:
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978-7-121-28022-1 价格： CNY128.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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28, 536页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 电子工业出版社 出版日期： 2018 |
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内容提要:
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全书共18章, 内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体, 以及气体放电的动理论等。 |
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主题词:
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等离子体 放电 |
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中图分类法:
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O53 版次： 5 |
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中图分类法:
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O461 版次： 5 |
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主要责任者:
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力伯曼 著 |
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主要责任者:
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里登伯格 著 |
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次要责任者:
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蒲以康 译 |
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责任者附注:
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责任者Lieberman规范汉译姓: 力伯曼, 责任者Lichtenberg规范汉译姓: 里登伯格 |
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责任者附注:
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力伯曼, 教授, 分别于1962年和1966年从麻省理工学院获得学识和博士学位, 从事等离子体方面的教学和科研。里登伯格, 教授, 于1952年从哈佛大学获得学士学位等, 是国际著名的高温等离子体、等离子体放电和非线性动力学领域的先驱。 |
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索书号:
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3 |
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索书号:
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