题名:
纳机电系统   / (法)劳伦·特拉夫格(Laurent Duraffourg),(法)朱利安·阿尔卡莫内(Julien Arcamone)著 , 曹峥译
ISBN:
978-7-111-59127-6 价格: CNY59.00
语种:
chi
载体形态:
134页 图 24cm
出版发行:
出版地: 北京 出版社: 机械工业出版社 出版日期: 2018
内容提要:
本书介绍了MEMS(微机电系统)向NEMS(纳机电系统)的演变、NEMS的相关理论和技术以及相关的前沿研究。书中内容主要讨论了NEMS的机电特性、尺度效应带给NEMS的有趣性能以及目前的制造工艺,为该领域目前和未来的研究提供了清晰的叙述。 
主题词:
纳米技术   应用
中图分类法:
TM7 版次: 5
主要责任者:
特拉夫格
主要责任者:
阿尔卡莫内
次要责任者:
曹峥
索书号:
3
索书号:
3