题名:
晶圆制造自动化物料运输系统调度   / 张洁等著 ,
ISBN:
978-7-5680-4787-6 价格: CNY88.00
语种:
eng
载体形态:
272页 图 24cm
出版发行:
出版地: 武汉 出版社: 华中科技大学出版社 出版日期: 2018
内容提要:
本书在系统全面介绍制造系统中的多种复杂调度问题的基础上,重点介绍了分别面向不同调度问题的智能化调度方法,具体包括非等效并行机智能调度方法、非等效并行机作业车间智能调度方法、面向多工艺路线非等效并行机作业车间智能调度方法、非等效并行机流水车间智能调度方法以及混流装配线智能调度方法。 
主题词:
半导体工艺   自动化系统
中图分类法:
TN305 版次: 5
主要责任者:
张洁
索书号:
3
索书号:
3