题名:
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晶圆制造自动化物料运输系统调度 / 张洁等著 , |
ISBN:
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978-7-5680-4787-6 价格: CNY88.00 |
语种:
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eng |
载体形态:
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272页 图 24cm |
出版发行:
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出版地: 武汉 出版社: 华中科技大学出版社 出版日期: 2018 |
内容提要:
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本书在系统全面介绍制造系统中的多种复杂调度问题的基础上,重点介绍了分别面向不同调度问题的智能化调度方法,具体包括非等效并行机智能调度方法、非等效并行机作业车间智能调度方法、面向多工艺路线非等效并行机作业车间智能调度方法、非等效并行机流水车间智能调度方法以及混流装配线智能调度方法。 |
主题词:
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半导体工艺 自动化系统 |
中图分类法:
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TN305 版次: 5 |
主要责任者:
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张洁 著 |
索书号:
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3 |
索书号:
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3 |