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题名:
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基于MEMS技术的热梯度器件研究 / 聂金泉著 , |
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ISBN:
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978-7-5170-7299-7 价格： CNY59.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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192页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 中国水利水电出版社 出版日期： 2019 |
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内容提要:
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本书提出了一种基于MEMS技术的热梯度微流控系统，设计了一种新型的梯度加热器，由六个微加热芯片组成，每个微加热芯片包含一个梯度单元和一个补偿单元, 采用数值模拟分析了铝薄膜的几何尺寸(宽度和厚度)对温度梯度和功耗的影响，为微通道芯片的温度梯度的优化设计提供了参考。采用MEMS微加工技术加工和制作微流控系统的微加热芯片和玻璃-PDMS微通道芯片，开发了工艺流程，分析了关键工艺步骤，通过微加热芯片的引线键合，完成了微流控系统的构建。 |
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主题词:
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微型组件 机电系统 |
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中图分类法:
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TH-39 版次： 5 |
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主要责任者:
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聂金泉 著 |
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索书号:
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3 |
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索书号:
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3 |