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题名:
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MEMS技术及应用 / 蒋庄德等著 , |
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ISBN:
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978-7-04-050478-1 价格： CNY69.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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318页 图 27cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 高等教育出版社 出版日期： 2018 |
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内容提要:
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本书讨论的主题是微机电系统 (MEMS) 这一前沿的交叉学科。作者通过对MEMS技术的主要方面: 结构、材料、工艺、设计、测量进行系统论述, 并随之以对MEMS典型应用的分类介绍, 为读者勾勒出当前微机电系统的发展全貌。作为对主体内容的补充和延伸, 纳机电系统 (NEMS) 和石墨烯在本书的结尾部分被予以专门的讨论。 |
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主题词:
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微电机 |
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中图分类法:
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TM38 版次： 5 |
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主要责任者:
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蒋庄德 著 |
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附注:
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高等学校教材 |
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责任者附注:
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蒋庄德, 中国工程院院士, 西安交通大学教授, 英国伯明翰大学博士、名誉教授, 澳大利亚新南威尔士大学客座教授。 |
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索书号:
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3 |
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索书号:
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3 |