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题名:
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激光等离子体极紫外光刻光源 / 窦银萍, 宋晓伟, 陶海岩著 , |
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ISBN:
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978-7-118-11793-6 价格： CNY79.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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112页 图 21cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 国防工业出版社 出版日期： 2018 |
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内容提要:
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本书首先介绍了用于光刻的激光等离子体极紫外光源的国内外发展现状，并阐述了激光等离子体光源的相关理论。其次介绍了用于6.7nm光源探测的平像场光栅光谱仪的设计、搭建及标定。最后，详细介绍了工作波长6.7nm极紫外光源离子碎屑特性及其阻挡的实验研究结果。 |
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主题词:
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激光 等离子体 |
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中图分类法:
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TN305.7 版次： 5 |
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主要责任者:
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窦银萍 著 |
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主要责任者:
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宋晓伟 著 |
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主要责任者:
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陶海岩 著 |
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索书号:
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3 |
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索书号:
|
3 |