题名:
3D集成手册   / (美) 菲利普·加罗, 克里斯多夫·鲍尔, (德) 彼得·兰姆著 , 赵元富, 姚全斌, 白丁等译
ISBN:
978-7-5159-1300-1 价格: CNY198.00
语种:
chi
载体形态:
XXX, 714页 图 27cm
出版发行:
出版地: 北京 出版社: 中国宇航出版社 出版日期: 2017
内容提要:
本书主要主要关注“3D集成”技术和应用, 将“3D集成”理解为在IC层之间通过垂直电互连对减薄和键合后硅集成电路的垂直集成。本书旨在及时、客观地向工程师和科学家们提供该领域的全貌。本书分为五个部分: 第一部分为TSV工艺技术, 第二部分为晶圆减薄和键合技术, 第三部分为3D集成的设计、性能以及热管理, 第四部分为3D技术的具体应用。 
主题词:
集成电路   电路设计
中图分类法:
TN402-62 版次: 5
其它题名:
3D集成电路技术与应用
主要责任者:
加罗
主要责任者:
鲍尔
主要责任者:
兰姆
次要责任者:
赵元富
次要责任者:
姚全斌
次要责任者:
白丁
索书号:
2