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题名:
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纳米CMOS器件
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甘学温等编著
,
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ISBN:
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7-03-011163-X
价格：
CNY45.00
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语种:
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chi
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载体形态:
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344页
24cm
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出版发行:
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出版地：
北京
出版社：
科学出版社
出版日期：
2004.1
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内容提要:
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本书介绍了特征尺寸缩小到纳米量级后所面临的挑战，以及为适应纳米量级半导体器件的要求而发展的新工艺技术和新器件结构。
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主题词:
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半导体材料
纳米材料
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主题词:
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半导体材料
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主题词:
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纳米材料
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中图分类法:
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TN304
版次：
4
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主要责任者:
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甘学温
编著
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附注:
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中国科学院科学出版基金资助出版
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