题名:
MEMS与微系统   / (美)徐泰然(Tai-Ran Hsu)著 , 梁仁荣,刘立滨等译
ISBN:
978-7-121-30499-6 价格: CNY79.00
语种:
chi
载体形态:
18,367页 图 26cm
出版发行:
出版地: 北京 出版社: 电子工业出版社 出版日期: 2017
内容提要:
本书以纳米技术的简短介绍和历史沿革开篇,依次讲解了包括生产纳米产品的制造技术在内的纳米结构工程设计的基础知识、分子动力学中的工程设计原理,以及纳米尺度物质中的流体流动与热传导。 
主题词:
微电机  
中图分类法:
TM38 版次: 5
其它题名:
设计、制造及纳尺度工程
主要责任者:
徐泰然
次要责任者:
梁仁荣
次要责任者:
刘立滨
责任者附注:
徐泰然 (Tai-Ran Hsu),博士,是美国加州圣何塞州立大学机械与航天工程系的教授,主要从事微机电系统的设计制造与封装技术的教学和科研工作著有《MEMS与微系统:设计、制造及纳尺度工程》。 
索书号:
5