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题名:
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微机电系统基础 / (美) 盖德主编 , 赵永梅, 段瑞飞, 季安译 |
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ISBN:
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978-7-111-55733-3 价格： CNY169.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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xiii, 394页 图 27cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2017 |
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内容提要:
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本书是MEMS手册中的基础部分, 提供有关MEMS理论和技术基础的文献和参考。书中除了介绍MEMS在微小尺度方面的物理学、流体力学、力学、光学、电、润滑, 还包含了控制理论、分布式控制及软计算的内容。这些内容涉及未来应用的各种重要基础知识, 将其应用于微传感器和微执行器能够实现节约能源的有效控制并提高人工装置性能。 |
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主题词:
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微电机 |
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中图分类法:
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TM38 版次： 5 |
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主要责任者:
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盖德 主编 |
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次要责任者:
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赵永梅 译 |
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次要责任者:
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段瑞飞 译 |
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次要责任者:
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季安 译 |
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索书号:
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4 |