|
题名:
|
脉冲激光沉积类金刚石膜技术 / 程勇等编著 , |
|
ISBN:
|
978-7-03-051551-3 价格： CNY168.00 |
|
语种:
|
chi |
|
载体形态:
|
x, 422页 图 25cm |
|
出版发行:
|
出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2017 |
|
内容提要:
|
全书共七章内容, 从介绍类金刚石膜性质、组成、制备及应用入手, 阐述了脉冲激光沉积技术及其在制备类金刚石膜方面的机理和优、缺点, 以及类金刚石膜的测试与表征; 详细讨论了激光参数、基底状态、靶材种类以及环境气氛等因素对类金刚石膜性能的影响, 偏重于阐述掺杂、退火、膜层结构及双激光技术等类金刚石膜降低内应力、提高膜层性能的改性技术; 针对类金刚石膜的工程应用中存在的大面积不均匀、制备效率低的现实问题, 展现了多功能激光沉积系统, 阐述了脉冲激光沉积大尺寸均匀平面和球面类金刚石膜的装置、模型及实验; 最后介绍了脉冲激光沉积技术在制备其他功能薄膜方面的应用, 展望了该技术未来发展趋势和前景。 |
|
主题词:
|
脉冲(力学) 激光淀积 |
|
中图分类法:
|
TB43 版次： 5 |
|
主要责任者:
|
程勇 编著 |
|
责任者附注:
|
程勇, 江西玉山人, 武汉军械士官学校光电技术研究所所长、教授。 |
|
索书号:
|
2 |