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题名:
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金属有机物气相外延 / (美) 杰拉尔德·B. 斯特林费洛著 , 张国义, 陈志忠译 |
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ISBN:
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978-7-301-27517-7 价格： CNY91.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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512页 图 23cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 北京大学出版社 出版日期： 2016 |
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内容提要:
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本书作为金属有机物气相外延( OMVPE或MOCVD) 基础理论和应用实践方面的教学参考书, 适用于材料物理, 材料化学和电子专业的本科生和研究生。同时也适合作为OMVPE生产和研发人员的工具书。本书第一章首先总揽了OMVPE的生长过程, 并和其他的外延工艺做细致的比较。第二到第六章则分别论述了OMVPE生长的各个方面: 热力学( 第二章) , 表面物理过程( 第三章) , 反应源( 第四章) , 动力学( 第五章) 以及流体力学和质量输运( 第六章) 。 |
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主题词:
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有机金属化合物 气相外延生长 |
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中图分类法:
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O627 版次： 5 |
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主要责任者:
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斯特林费洛 著 |
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次要责任者:
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张国义 译 |
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次要责任者:
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陈志忠 译 |
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附注:
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“十三五”国家重点图书出版规划项目 |
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责任者附注:
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杰拉尔德·B. 斯特林费洛, 美国犹他大学教授, 世界OMVPE领域的积极领导者。 |
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索书号:
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4 |