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题名:
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薄膜的设计、制备及应用 / 王月花, 黄飞编著 , |
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ISBN:
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978-7-5646-2987-8 价格： CNY29.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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215页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 徐州 出版社： 中国矿业大学出版社 出版日期： 2016 |
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内容提要:
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本书以薄膜材料为中心, 系统地介绍了薄膜技术中常用的真空技术基础知识, 各种物理和化学气相沉积技术和方法, 薄膜材料的形核及生长理论, 薄膜材料微观结构的形成以及薄膜材料的厚度、微观结构和成分的表征方法等。 |
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主题词:
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薄膜技术 高等学校 |
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中图分类法:
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TB43 版次： 5 |
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主要责任者:
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王月花 编著 |
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主要责任者:
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黄飞 编著 |
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索书号:
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4 |