题名:
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Advanced nano deposition methods / 林媛, 陈新主编 , |
ISBN:
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978-7-122-29158-5 价格: CNY298.00 |
语种:
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eng |
载体形态:
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XVI, 309页 图 25cm |
出版发行:
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出版地: 北京 出版社: 化学工业出版社 出版日期: 2017 |
内容提要:
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本书总结了纳米薄膜材料的国内外研究最新进展, 既详细地介绍了纳米薄膜材料的制备方法, 又介绍了它们在电子器件领域的应用。系统阐述了薄膜及纳米结构的一系列制备技术, 不仅包括溶胶凝胶法、MOCVD、电子束沉积等技术。 |
主题词:
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纳米材料 薄膜 |
中图分类法:
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TB383 版次: 5 |
主要责任者:
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林媛 主编 |
主要责任者:
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陈新 主编 |
附注:
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“十二五”国家重点图书 |
责任者附注:
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林媛教授于1999年在中国科技大学获得凝聚态物理学博士, 之后分别在北京中科院物理所、美国休斯顿大学和美国洛萨莫斯国家实验室进行博士后研究, 并在美国Intel公司担任高级工程师。陈新教授2000年在美国休斯敦大学获得物理专业博士学位。 |
索书号:
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1 |