题名:
Advanced nano deposition methods   / 林媛, 陈新主编 ,
ISBN:
978-7-122-29158-5 价格: CNY298.00
语种:
eng
载体形态:
XVI, 309页 图 25cm
出版发行:
出版地: 北京 出版社: 化学工业出版社 出版日期: 2017
内容提要:
本书总结了纳米薄膜材料的国内外研究最新进展, 既详细地介绍了纳米薄膜材料的制备方法, 又介绍了它们在电子器件领域的应用。系统阐述了薄膜及纳米结构的一系列制备技术, 不仅包括溶胶凝胶法、MOCVD、电子束沉积等技术。 
主题词:
纳米材料   薄膜
中图分类法:
TB383 版次: 5
主要责任者:
林媛 主编
主要责任者:
陈新 主编
附注:
“十二五”国家重点图书 
责任者附注:
林媛教授于1999年在中国科技大学获得凝聚态物理学博士, 之后分别在北京中科院物理所、美国休斯顿大学和美国洛萨莫斯国家实验室进行博士后研究, 并在美国Intel公司担任高级工程师。陈新教授2000年在美国休斯敦大学获得物理专业博士学位。 
索书号:
1