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题名:
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惯性MEMS器件原理与实践 / (德) 沃克尔·肯普著 , 张新国等译 |
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ISBN:
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978-7-118-10887-3 价格： CNY128.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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xii, 410页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 国防工业出版社 出版日期： 2016 |
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内容提要:
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该书共分9个章节。其中6个章节 (包括引言) 用于讲述MEMS相关技术的理论基础。第一章讲述了惯性MEMS中最重要的传感器-加速度计和陀螺仪的相关背景知识; 第二章讲述了诸如弹性力和阻尼力等非惯性力的理论知识, 这些在设计惯性MEMS传感器时非常重要; 第三、四章描述了主要MEMS工艺的制作技术; 第五章讲述MEMS封装技术; 第六章讲述MEMS接口电路技术。前六章内容不仅适合惯性MEMS行业的技术人员, 而且对其他想对MEMS有总体了解的人员也有很大的吸引力。第七、八章为核心内容, 讲述惯性MEMS传感器-加速度计和陀螺仪。这里重点讲述基本理论、动态特性分析及数学模型建立的方法, 并系统讲述了惯性MEMS传感器的不同设计方法和结构方案, 以及各自的优缺点。最后, 对测试和校准用独立的章节进行了简要介绍。 |
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主题词:
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微电子技术 传感器 |
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中图分类法:
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TP212 版次： 5 |
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主要责任者:
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肯普 著 |
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次要责任者:
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张新国 译 |
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附注:
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装备科技译著出版基金 |
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索书号:
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5 |