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题名:
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MEMS多晶圆旋转机械 / (美) Jeffrey H. lang著 , 刘欢 ... [等] 译 |
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ISBN:
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978-7-118-10543-8 价格： CNY120.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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xi, 361页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 国防工业出版社 出版日期： 2016 |
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内容提要:
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本书共9章, 第1章和第2章是介绍多晶圆旋转机器的基础。第3章讨论了材料、结构、和封装。第4章主要讲述与硅相关的制造。第5章侧重于电镀磁性元件, 如线圈和磁芯, 形成一个硅的上层构造。第6章介绍了超高速空气轴承的研究进展。第7章介绍了热流体和涡轮机的研究工作。第8章介绍了MEMS发电机的工作原理。第9章重点介绍了MEMS的尺度燃烧。 |
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主题词:
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微电机 |
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中图分类法:
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TM38 版次： 5 |
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其它题名:
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涡轮机、发电机和发动机 |
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主要责任者:
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朗 著 |
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次要责任者:
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刘欢 译 |
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次要责任者:
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刘卫国 译 |
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附注:
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装备科技译著出版基金 西安工业大学专著出版基金资助 |
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责任者附注:
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责任者lang规范汉译姓: 朗 |
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索书号:
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5 |