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题名:
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Design, fabrication and CAD for MEMS devices / 郭占社 , |
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ISBN:
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978-7-5124-2109-7 价格： CNY65.00 |
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语种:
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eng |
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载体形态:
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272页 图 23cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 北京航空航天大学出版社 出版日期： 2016 |
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内容提要:
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本书首先介绍了MEMS的相关基本理论, 微机电系统的重要材料和制造工艺。在这些理论的基础上, 对设计规则和重要的工程实例都进行了详细描述。然后, 结合MEMS (包括加速度测量) 的许多工程应用介绍了角速度测量和压力测量。最后, 介绍了利用有限元方法来证明设计的正确性。 |
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主题词:
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微电子技术 研究生 |
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中图分类法:
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TN4 版次： 5 |
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主要责任者:
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郭占社 著 |
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索书号:
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4 |