|
题名:
|
纳米集成电路制造工艺 / 张汝京等编著 , |
|
ISBN:
|
978-7-302-45233-1 价格： CNY89.00 |
|
语种:
|
chi |
|
载体形态:
|
XIV, 471页 图 26cm |
|
出版发行:
|
出版地： 北京 出版社： 清华大学出版社 出版日期： 2017 |
|
内容提要:
|
本书共分19章, 涵盖先进集成电路工艺的发展史, 集成电路制造流程、介电薄膜、金属化、光刻、刻蚀、表面清洁与湿法刻蚀、掺杂、化学机械平坦化, 器件参数与工艺相关性, DFM (Design for Manufacturing) , 集成电路检测与分析、集成电路的可靠性, 生产控制, 良率提升, 芯片测试与芯片封装等项目和课题。 |
|
主题词:
|
纳米材料 集成电路工艺 |
|
中图分类法:
|
TN405 版次： 5 |
|
主要责任者:
|
张汝京 编著 |
|
版次:
|
2版 |
|
索书号:
|
4 |