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题名:
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集成电路制造技术
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王蔚, 田丽, 任明远编著
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ISBN:
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978-7-121-28277-5
价格：
CNY49.90
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语种:
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chi
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载体形态:
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12, 356页
图
26cm
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出版发行:
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出版地：
北京
出版社：
电子工业出版社
出版日期：
2016
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内容提要:
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本书共五个单元, 系统介绍了当前硅集成电路制造普遍采用的工艺技术, 具体包括硅衬底、氧化与掺杂、薄膜制备、光刻、工艺集成与封装测试等。
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主题词:
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集成电路工艺
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中图分类法:
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TN405
版次：
5
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主要责任者:
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王蔚
编著
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主要责任者:
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田丽
编著
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主要责任者:
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任明远
编著
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版次:
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2版
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索书号:
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4
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