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题名:
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半导体微系统制造技术 / 刘斌主编 , |
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ISBN:
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978-7-111-50268-5 价格： CNY32.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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224页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2017 |
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内容提要:
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本书在半导体微系统制造工艺的基础上主要介绍了MEMS及微系统常用材料、硅的各向同性腐蚀、阳极腐蚀、硅的各向异性腐蚀、电钝化腐蚀、自停止腐蚀技术、非晶薄膜的腐蚀与表面微加工、静电键合技术等。 |
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主题词:
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微电子学 高等教育 |
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中图分类法:
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TN4 版次： 5 |
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主要责任者:
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刘斌 主编 |
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索书号:
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4 |