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题名:
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微机电系统 (MEMS) 工艺基础与应用 / 邱成军, 曹姗姗, 卜丹编著 , |
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ISBN:
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978-7-5603-5109-4 价格： CNY48.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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301页 图 23cm |
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出版发行:
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出版地： 哈尔滨 出版社： 哈尔滨工业大学出版社 出版日期： 2016 |
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内容提要:
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本书着重从基本理论和具体应用方面阐述MEMS工艺。主要介绍了MEMS的概念、发展现状与趋势及力学相关知识 ; 重点阐述了MEMS实现工艺, 主要有刻蚀, 表面微加工工艺的基本原理及其常用材料等内容。 |
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主题词:
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微机电 生产工艺 |
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中图分类法:
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TM380.5 版次： 5 |
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主要责任者:
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邱成军 编著 |
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主要责任者:
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曹姗姗 编著 |
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主要责任者:
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卜丹 编著 |
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附注:
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“十二五”国家重点图书 |
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索书号:
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5 |