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题名:
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晶圆制造自动化物料运输系统调度 / 张洁, 秦威, 吴立辉著 , |
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ISBN:
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978-7-5680-0902-7 价格： CNY88.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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263页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 武汉 出版社： 华中科技大学出版社 出版日期： 2015 |
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内容提要:
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本书针对自动化物料运输系统（AMHS）调度问题大规模、随机性、实时性和多目标的特点，在系统、深入地进行AMHS建模方法和运行过程分析的基础上，分别介绍了AMHS中的Interbay系统和Intrabay系统的优化调度方法，介绍了AMHS集成调度和AMHS调度性能评价方法。 |
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主题词:
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半导体工艺 自动化系统 |
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中图分类法:
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TN305 版次： 5 |
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主要责任者:
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张洁 著 |
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主要责任者:
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秦威 著 |
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主要责任者:
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吴立辉 著 |
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附注:
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国家科学技术学术著作出版基金资助 “十二五”国家重点图书出版规划项目 |
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索书号:
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5 |