|
中图分类法:
|
TN406 版次： |
|
题名:
|
Reliability of MEMS : [ testing of materials and devices /] / , |
|
出版发行:
|
出版地： Weinheim : 出版社： Wiley-VCH, 出版日期： c2013. |
|
载体形态:
|
xx, 303 p. : ill. ; 25 cm. |
|
附注:
|
First edition 2007. |
|
主题词:
|
Microelectromechanical systems Reliability. |
|
主要责任者:
|
Tsuchiya, Toshiyuki. |
|
主要责任者:
|
Tabata, Osamu, |
|
索书号:
|
1 |