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科图分类法:
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TB 版次： |
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中图分类法:
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TB 版次： |
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题名:
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Micro process engineering : [ fundamentals, devices, fabrication, and applications /] / , |
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出版发行:
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出版地： Weinheim : 出版社： Wiley-VCH, 出版日期： c2013 |
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载体形态:
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xxii, 507 p. : ill. ; 26 cm. |
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附注:
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First ed.: 2006. |
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主题词:
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Production engineering. |
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主题词:
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Microtechnology. |
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主要责任者:
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Kockmann, Norbert. |
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索书号:
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1 |