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科图分类法:
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TN432 版次： |
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中图分类法:
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TN432 版次： |
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题名:
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CMOS-MEMS / / , |
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出版发行:
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出版地： Weinheim ; 出版社： Wiley-VCH, 出版日期： c2013. |
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载体形态:
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xiv, 594 p. : ill. ; 25 cm. |
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附注:
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First edition 2005. |
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主题词:
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Metal oxide semiconductors, Complementary. |
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主题词:
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Microelectromechanical systems. |
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主要责任者:
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Brand, Oliver, |
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主要责任者:
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Fedder, G. K. |
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索书号:
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1 |