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科图分类法:
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TN4 版次： |
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中图分类法:
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TN4 版次： |
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题名:
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Enabling technologies for MEMS and nanodevices : [ advanced micro and nanosystems /] / , |
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版次:
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1st ed. |
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出版发行:
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出版地： Weinheim [Germany] : 出版社： Wiley, 出版日期： c2013. |
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载体形态:
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xii, 427 p. : ill. ; 25 cm. |
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主题词:
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Microelectronics. |
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主题词:
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Nanotechnology. |
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主题词:
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Microelectromechanical systems. |
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主要责任者:
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Baltes, Henry. |
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索书号:
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1 |