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中图分类法:
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TN304.055 版次： |
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题名:
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Atomic layer deposition : [ principles, characteristics, and nanotechnology applications /] / , |
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版次:
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2nd ed. |
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出版发行:
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出版地： Salem, Mass. : 出版社： Scrivener Publishing, 出版日期： c2013. |
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载体形态:
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xv, 253 p. : ill. ; 25 cm. |
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主题词:
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Chemical vapor deposition. |
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主题词:
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Epitaxy. |
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主题词:
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Microelectronics. |
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主题词:
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Nanotechnology. |
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主要责任者:
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K？？ri？inen, Tommi. |
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索书号:
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1 |