|
科图分类法:
|
TN405 版次： |
|
中图分类法:
|
TN405 版次： |
|
著者:
|
Franssila, Sami. |
|
题名:
|
Introduction to microfabrication / / , |
|
版次:
|
2nd ed. |
|
出版发行:
|
出版地： Chichester, West Sussex, England ; 出版社： John Wiley & Sons, 出版日期： 2010. |
|
载体形态:
|
xiv, 518 p. : ill. ; 25 cm. |
|
主题词:
|
Microelectromechanical systems. |
|
主题词:
|
Electronic apparatus and appliances. |
|
主题词:
|
Microfabrication. |
|
索书号:
|
1 |