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题名:
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MEMS集成设计技术及应用 / 苑伟政，谢建兵，焦文龙著 , |
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ISBN:
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978-7-118-09583-8 价格： CNY99.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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xviii, 294页, 16页图版 图 (部分彩图) 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 国防工业出版社 出版日期： 2014 |
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内容提要:
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本书首先在介绍MEMS设计技术与设计工具基础之上，对MEMS设计的关键技术——系统级设计技术、器件级设计技术、工艺级设计技术以及各层级转换接口技术，进行了分析与论述。然后对基于这些关键技术和泛结构化MEMS集成设计方法的MEMS Garden的特色做了介绍，并通过杠杆放大微加速度计说明了其操作方法。最后，通过大量不同种类的MEMS器件的设计实例验证了MEMS Garden的通用性与先进性。 |
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主题词:
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微电子技术 研究 |
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中图分类法:
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TN4 版次： 5 |
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主要责任者:
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苑伟政 著 |
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主要责任者:
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谢建兵 著 |
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主要责任者:
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焦文龙 著 |
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附注:
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国防科技图书出版基金 “十二五”国家重点图书出版规划项目 |
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索书号:
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5 |