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题名:
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微米加工与纳米制造 / (美) 马克 J. 杰克逊主编 , 缪旻，张月霞，李振松译 |
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ISBN:
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978-7-111-51482-4 价格： CNY128.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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375页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2016 |
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内容提要:
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本书较为系统地梳理了微米加工（特别是非硅基加工）技术以及纳米加工手段，结合微流体、微惯性器件、纳米传感器等方面的典型案例，阐释了这些技术的原理和特点，提出了特点问题的高效率解决方案，给出了工艺设计方面的指南，并对这些技术的发展走向做出了高屋建瓴的判断。 |
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主题词:
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纳米技术 |
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中图分类法:
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TB303 版次： 5 |
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主要责任者:
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杰克逊 主编 |
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次要责任者:
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缪旻, 译 |
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次要责任者:
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张月霞, 译 |
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次要责任者:
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李振松, 译 |
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索书号:
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5 |