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题名:
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微系统设计与制造 / 王喆垚编著 , |
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ISBN:
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978-7-302-39167-8 价格： CNY98.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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742页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 清华大学出版社 出版日期： 2015 |
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内容提要:
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本书结合微系统（MEMS）技术的基础理论、典型器件和发展趋势，介绍微系统的力学、电学和物理学基本理论，针对典型器件的分析设计方法和制造技术，以及多个前沿应用领域，力争成为具有一定深度和广度的MEMS领域的教材和实用参考书。主要内容包括： 微系统基本理论、制造技术、微型传感器、微型执行器、RF MEMS、光学MEMS、BioMEMS，以及微流体和芯片实验室。本书强调设计与制造相结合、基础与前沿相结合，在基础理论和制造技术的基础上，深入介绍多种典型和量产MEMS器件的设计和制造方法，以及重点和前沿应用研究领域的发展。 |
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主题词:
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微电子技术 高等学校 |
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中图分类法:
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TN40 版次： 5 |
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主要责任者:
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王喆垚 编著 |
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版次:
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2版 |
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索书号:
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2 |