|
题名:
|
射频等离子体物理学 / (法)夏伯特(Chabert,P.),(英)布雷斯韦特(Braithwaite,N.)著 , |
|
ISBN:
|
978-7-03-045919-0 价格： CNY128.00 |
|
语种:
|
chi |
|
载体形态:
|
360页 24cm |
|
出版发行:
|
出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2015 |
|
内容提要:
|
针对微电子工业中的材料处理工艺（如半导体芯片加工），介绍有关的的低气压射频等离子体的产生方法及物理特性，涉及目前最重要的三种射频等离子体源（单频及多频电容耦合，电感耦合，螺旋波耦合）及其关联性。书中也论述了低温高密度等离子体在微电子器件制备等领域应用的最新进展及相关技术问题。作者在书中精心设计了超过100道习题，有利于读者深入了解掌握所涉及的基本概念。 |
|
主题词:
|
射频 等离子体物理学 |
|
中图分类法:
|
O53 版次： 5 |
|
主要责任者:
|
夏伯特(Chabert )著 |
|
主要责任者:
|
P.) )著 |
|
主要责任者:
|
布雷斯韦特(Braithwaite )著 |
|
主要责任者:
|
N.) 著 |
|
索书号:
|
2 |