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题名:
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微纳米制造技术及应用 / 张德远 等编著 , |
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ISBN:
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978-7-03-045751-6 价格： CNY98.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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252页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2015 |
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内容提要:
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微纳米制造技术广泛应用于大规模集成电路、微机械结构、微机电系统、传感器、驱动器、功能材料与涂层等，涉及电子、机械、光学、物理、化学、材料、生物等多种学科，是制造技术的融合交叉新领域。本书共分7章，内容涵盖了微机械加工、表面成膜、半导体加工、纳米制造和生物制造等，全面地讲述了微纳米加工的各种方法，每种工艺都按照由原理、工艺过程到应用特点的顺序论述，逻辑严谨、脉络清晰。 |
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主题词:
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纳米技术 |
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中图分类法:
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TB303 版次： 5 |
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主要责任者:
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张德远 编著 |
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附注:
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“十二五”国家重点图书出版规划项目 |
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索书号:
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2 |