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题名:
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氧化锌和氮化铝薄膜制备与表征实例 / 赵祥敏, 赵文海著 , |
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ISBN:
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978-7-5024-6917-7 价格： CNY25.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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x, 132页 图 21cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 冶金工业出版社 出版日期： 2015 |
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内容提要:
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本书以实例的形式, 介绍了用磁控溅射法制备氧化锌 (ZnO) 薄膜、氮化铝 (AlN) 薄膜和ZnO/AlN复合膜的详细工艺和性能表征。全书共分八章, 主要介绍了ZnO和AlN的晶体结构、能带结构、性能与应用, ZnO和AlN薄膜的常用制备方法及性能表征手段, ZnO薄膜、AlN薄膜、ZnO/AlN复合膜的制备方法与性能表征, 不同溅射时间下AlN缓冲层对ZnO薄膜的影响, 退火温度对N掺杂ZnO薄膜的影响等内容。 |
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主题词:
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氧化锌 薄膜技术 |
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主题词:
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氮化铝 薄膜技术 |
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中图分类法:
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TB43 版次： 5 |
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主要责任者:
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赵祥敏 著 |
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主要责任者:
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赵文海 著 |
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责任者附注:
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赵祥敏, 女, 1979年2月出生, 就职于牡丹师范学院工学院。 |
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索书号:
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5 |