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题名:
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直拉硅单晶生长过程建模与控制 / 刘丁著 , |
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ISBN:
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978-7-03-043346-6 价格： CNY165.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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xiii, 285页 彩图 25cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2015 |
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内容提要:
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本书源于作者在直拉硅单晶生长控制领域十余年的研究心得与成果积累，在对硅单晶生长工艺参数及制备理论进行全面论述的基础上，系统地介绍了直拉硅晶体生长的基本原理和工艺过程以及热场、磁场等关键部件的设计理论与方法。 |
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主题词:
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直拉硅单晶 晶体生长 |
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主题词:
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直拉硅单晶 晶体生长 |
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中图分类法:
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TN304.053 版次： 5 |
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中图分类法:
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TP273 版次： 5 |
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主要责任者:
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刘丁 著 |
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索书号:
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2 |